| 发明名称 |
一种镀铜工艺 |
| 摘要 |
一种镀铜工艺属于精细化工领域，更具体地说，是涉及一种镀铜工艺。本发明提供了一种高效、污染小的镀铜工艺。本发明的工艺步骤为：除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜、焦磷酸盐电镀铜、烘干。 |
| 申请公布号 |
CN102061471A |
申请公布日期 |
2011.05.18 |
| 申请号 |
CN200910219769.1 |
申请日期 |
2009.11.11 |
| 申请人 |
周丽 |
发明人 |
周丽 |
| 分类号 |
C23C28/02(2006.01)I;C25D3/38(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I |
主分类号 |
C23C28/02(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种镀铜工艺，其特征在于，本发明的工艺步骤为：(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜；(2)焦磷酸盐电镀铜镀液的配方为：焦磷酸铜70～90g/L、焦磷酸钾300～350g/L、柠檬酸铵0～15g/L、硝酸铵0～20g/L、酒石酸钾钠0～25g/L、氨三乙酸0～20g/L、氨水0～1ml；镀铜过程的温度为45～55℃，体系pH值为8.2～8.8；(3)烘干。 |
| 地址 |
110159 辽宁省沈阳市浑南新区南屏中路6号沈阳理工大学机械工程学院 |
