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发明名称 COMPUTER GENERATED HOLOGRAM, GENERATION METHOD, AND EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 EP2225770(A4) 申请公布日期 2011.05.18
申请号 EP20080866265 申请日期 2008.12.08
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 MATSUBARA, ISAO
分类号 H01L21/027;G03F7/20;G03H1/08 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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