用于补偿离轴焦点畸变的方法和装置

摘要

本发明公开了一种当使用扫描器和聚焦透镜系统时能够利用激光器精确控制在基材上烧蚀形成的细线结构的宽度的方法和装置。本方法能够通过增加激光束中的激光功率或能量来克服功率或能量密度的减小而动态补偿扫描透镜在离轴点处产生的光学畸变。

主权项

一种用于补偿在使用扫描器和透镜在基材上通过直写激光烧蚀形成细线结构时所产生的离轴焦点畸变的装置，所述装置包括：用于产生激光束的激光器单元；在基材上从轴上位置到离轴位置用于激光束扫描的扫描器单元；用于将激光束集聚至基材上的聚焦透镜；用于改变激光输出功率或脉冲能量的功率改变机构；以及控制器单元，其用于控制功率改变机构以根据相对于轴上位置的焦点位置动态地改变激光输出功率或脉冲能量。