| 发明名称 | 批处理式热处理装置以及适用于该热处理装置的加热器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种能够同时对多个基板进行热处理且各基板通过与所述各基板相对应的多个加热器被加热的批处理式热处理装置以及适用于该批处理式热处理装置的加热器。根据本发明的批处理式热处理装置包括：对多个基板(10)提供热处理空间的腔室(100)、装载多个基板(10)并支承的晶舟(108)以及沿着基板(10)的层叠方向以规定间隔配置的多个主加热单元(120)，其中，该主加热单元(120)包括多个单位主加热器(200)，基板(10)配置在多个主加热单元(120)之间。 | ||
| 申请公布号 | CN102067294A | 申请公布日期 | 2011.05.18 |
| 申请号 | CN200980122777.2 | 申请日期 | 2009.07.16 |
| 申请人 | 泰拉半导体株式会社 | 发明人 | 许官善;康浩荣 |
| 分类号 | H01L21/324(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/324(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人 | 陈英俊 |
| 主权项 | 一种批处理式热处理装置，其特征在于，可同时对多个基板进行热处理，各基板通过与所述各基板相对应的多个加热器被加热。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||