| 发明名称 | 钛络合物及其制备方法、含钛薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明的主题是提供新的钛络合物，其具有高的蒸气压和高的热稳定性，并用作通过如CVD方法或ALD方法的技术制备含钛薄膜的出色材料，还提供制备这些络合物的方法、由所述络合物制备的含钛薄膜和制备薄膜的方法。本发明涉及制备通式(1)表示的钛络合物(其中R<sup>1</sup>和R<sup>4</sup>分别独立地表示具有1～16个碳原子的烷基；R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>分别独立地表示氢原子或具有1～3个碳原子的烷基；R<sup>5</sup>表示具有1～16个碳原子和任选被一个或多个氟原子取代的烷基)，以及涉及使用该络合物制备含钛薄膜。<img file="200980123896.x_ab_0.GIF" wi="126" he="154" /> | ||
| 申请公布号 | CN102066313A | 申请公布日期 | 2011.05.18 |
| 申请号 | CN200980123896.X | 申请日期 | 2009.06.12 |
| 申请人 | 东曹株式会社;财团法人相模中央化学研究所 | 发明人 | 多田贤一;山本俊树;千叶洋一;岩永宏平;摩庭笃;肆矢忠宽;大岛宪昭 |
| 分类号 | C07C211/65(2006.01)I;B01J21/06(2006.01)I;B01J35/02(2006.01)I;C07C209/54(2006.01)I;C07C209/66(2006.01)I;C07C251/08(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I;H01L21/312(2006.01)I;H01L21/8242(2006.01)I;H01L27/108(2006.01)I;C07F7/28(2006.01)I | 主分类号 | C07C211/65(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 张平元 |
| 主权项 | 1.通式(1)表示的钛络合物：<img file="FPA00001279511600011.GIF" wi="491" he="595" />上式(1)中R<sup>1</sup>和R<sup>4</sup>分别独立地表示具有1～16个碳原子的烷基；R<sup>2</sup>和R<sup>3</sup>分别独立地表示氢原子或具有1～3个碳原子的烷基；以及R<sup>5</sup>表示具有1～16个碳原子和任选被一个或多个氟原子取代的烷基。 | ||
| 地址 | 日本山口县 | ||