光照射装置

摘要

本发明的目的是为了提供一种光照射装置以及可很好的适用于该光照射装置的光源灯，该光照射装置具备形成有冷却风路的光照射器，能够增大对被处理对象物的光照射量，可谋求处理效率提升，并且即使不大幅地增加冷却风的风量亦可获得充分的冷却功能。该该光照射装置具备光照射器，该光照射器在以剖面形状为圆形的棒状光源灯的管轴与具有反射面的槽状反射镜的第1焦点位置一致的状态下被配设的，在光源灯点灯时，由冷却风将光源灯及反射镜冷却，在相对光照射方向的光源灯的后方侧形成有与由反射镜包围的空间连通的、用来使冷却风流通的冷却风路，在光源灯的与冷却风路开口相对置的外表面区域形成有将由该光源灯所放射的光予以反射的反射膜。

主权项

一种光照射装置，其特征在于，该光照射装置具备光照射器，该光照射器以剖面为圆形的棒状光源灯的管轴与具有反射面的槽状反射镜的第1焦点位置一致的状态下配设，在光源灯点灯时，由冷却风将光源灯及反射镜冷却，在相对光照射方向的光源灯的后方侧，形成有与由反射镜包围的空间连通的、用来使冷却风流通的冷却风路，在光源灯的与冷却风路开口相对置的外表面区域，形成有将由该光源灯放射的光予以反射的反射膜。