用于密封热处理装置的机械手装置

摘要

本发明公开了一种用于密封热处理装置的机械手装置，所述热处理装置包括多层放置基板用的装载层，每个装载层顶端设置有相对应的可控门，用于装载被加热物，所述机械手装置包括两根水平放置的平行导轨，所述导轨位于热处理装置的前后两侧，所述平行导轨上竖立有两个可以移动的机械手，所述机械手上设置有滑槽及可以沿所述滑槽上下移动的支撑板，所述支撑板的末端设置有旋转驱动马达，所述支撑板上设置有真空吸附孔。本发明提供的用于密封热处理装置的机械手装置，结构简单，能够高密度的装载被加热物，便于热处理装置大型化且不降低热处理效率。

主权项

一种用于密封热处理装置的机械手装置，所述密封热处理装置包括多层放置基板用的装载层，加热器，用于固定装载层和加热器的框架，所述装载层的左右两侧和底部设置有金属夹，对每个装载层，所述框架上设置有相对应的可控门，所述加热器设置在框架底部，所述可控门设置在框架的顶端，所述基板及装载层在框架内竖直放置，其特征在于，所述机械手装置包括两根水平放置的平行导轨，所述导轨位于热处理装置的前后两侧，所述平行导轨上竖立有两个可以移动的机械手，所述机械手上设置有滑槽及可以沿所述滑槽上下移动的支撑板，所述支撑板的末端设置有旋转驱动马达，所述支撑板上设置有真空吸附孔。