发光二极管制造方法

摘要

本发明公开了一种发光二极管制造方法，该方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成聚苯乙烯纳米球掩膜层；刻蚀聚苯乙烯纳米球掩膜层和衬底，直至聚苯乙烯纳米球掩膜层被完全刻蚀掉，以在衬底上形成多个微透镜结构或圆锥形结构；在衬底上方依次形成外延层、有源层和帽层。所述微透镜结构或圆锥形结构可以增加衬底对光的反射，提高发光二极管的外量子效率，从而提高发光二极管的光利用率；并且，由于形成了多个微透镜结构或圆锥形结构，可提高衬底与其它膜层的晶格匹配度，减小形成于衬底上的膜层的晶体缺陷，提高发光二极管的内量子效率，并可确保器件不易破裂；此外，本发明提供的发光二极管制造方法的工艺步骤简单。

主权项

一种发光二极管制造方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成聚苯乙烯纳米球掩膜层；刻蚀所述聚苯乙烯纳米球掩膜层和衬底，直至所述聚苯乙烯纳米球掩膜层被完全刻蚀掉，以在所述衬底上形成多个微透镜结构；在所述衬底上方依次形成外延层、有源层和帽层。