发明名称 |
熔融石英陶瓷坩埚的制备方法 |
摘要 |
一种非金属材料技术领域的熔融石英陶瓷坩埚的制备方法,通过将颗粒级配的熔融石英陶瓷粉与预混液配制成浆料后进行真空除泡处理,然后经浇注、固化、脱模和干燥烧结后制成石英陶瓷坩埚。本发明采用颗粒级配的熔融石英粉作为原料,制备得到的坩埚的组织结构均匀,具有优异的抗热震、耐高温性能以及化学稳定性,能够满足多晶硅生产的工艺要求,且工艺简单、制作周期短,成本低廉,适于产业化应用。 |
申请公布号 |
CN102060542A |
申请公布日期 |
2011.05.18 |
申请号 |
CN201010562157.5 |
申请日期 |
2010.11.26 |
申请人 |
上海交通大学 |
发明人 |
李飞;吕和平;王飞;何博;孙宝德 |
分类号 |
C04B35/622(2006.01)I;C04B35/66(2006.01)I;C03B20/00(2006.01)I |
主分类号 |
C04B35/622(2006.01)I |
代理机构 |
上海交达专利事务所 31201 |
代理人 |
王锡麟;王桂忠 |
主权项 |
一种熔融石英陶瓷坩埚的制备方法,其特征在于,通过将颗粒级配的熔融石英陶瓷粉与预混液配制成浆料后进行真空除泡处理,然后经浇注、固化、脱模和干燥烧结后制成石英陶瓷坩埚。 |
地址 |
200240 上海市闵行区东川路800号 |