高功率半导体激光器防止反射光损伤装置

摘要

本发明涉及一种高功率半导体激光器防止反射光损伤装置，属于激光技术领域。本装置包括偏振分光镜、λ/4波片和吸收体。本发明在半导体激光发光芯片的出射光路中依次放置偏振分光镜和λ/4波片，利用半导体激光束是线偏振光的特性，通过λ/4波片改变工件反射光束的偏振特性，再采用偏振分光镜将反射光从半导体激光阵列的出射光束中分离出去，使得反射光无法沿照射到半导体激光发光芯片的表面，防止了半导体激光器在激光材料加工过程中反射光的损伤。

主权项

高功率半导体激光器防止反射光损伤装置，其特征在于：所述装置包括在半导体激光器的出射光路中依次放置的偏振分光镜、λ/4波片和吸收体；从半导体激光器发光芯片出射的线偏振光束先经过偏振分光镜，然后经过λ/4波片后变为圆偏振光束，圆偏振光束照射到工件上后，工件反射的部分光束沿原出射光路返回，再次经过λ/4波片后变为与出射的线偏振光束偏振方向垂直的线偏振光束，线偏振光束经过偏振分光镜后，偏离出射的线偏振光束的方向，照射到吸收体上。