解耦、多级的定位系统

摘要

一种分轴级台结构被实施成多级式定位系统(10)，其能够在高速与加速度下以振动方式且热稳定地运送材质。分轴设计能够解耦沿着两条位于分开、平行平面中的垂直轴线的级台运动。具有花岗石、石板、陶瓷材料或铸铁材料板片的尺寸稳定的基材(12)被用作为下方级台与上方级台的底座。刚性支撑结构允许可轴向调整的光学元件能更加快速且精确地定位于激光加工系统中。当光学组件(30)被覆盖于一个安装于多级式定位系统的样本级台(26)上方的支架结构(236、240)的坚硬空气轴承套筒(214)内时，可增进振动与热稳定性。

主权项

一种解耦、多级的定位系统，其包含：一尺寸稳定的基材，其具有一基材厚度以及相对的实质上平行的第一与第二主要表面部位；一第一导轨组件，其耦接至第一主要表面部位且被定位成用以可反应于第一推动力而引导第一级台沿着第一轴线的运动；一第二导轨组件，其耦接至第二主要表面部位且被定位成可反应于第二推动力而导引第二级台沿着第二轴线的运动，且第二轴线与第一轴线相对于彼此横向地配置；以及该尺寸稳定基材解耦该第一与第二级台，致使第一与第二级台的导引运动能够在沿着基材厚度的方向上提供可忽略误差的运动。