卧式多晶硅还原炉结构

摘要

卧式多晶硅还原炉结构，包括炉体，所述炉体包括外筒体和置于外筒体内的内筒体，所述外筒体与内筒体之间设有夹套，所述内筒体中设置有底板，底板上设有加热电极，还包括气体输送系统和炉内冷却系统，所述炉体采用圆筒形结构，或者底面为平面的结构。其中，气体输送系统和炉内冷却系统专为卧式还原炉设计，并设置有气体和导热油的缓冲结构，有利于提高气体反应效率和导热效果，提高多晶硅生产效率。炉体除了圆筒形结构外，还可以采用箱式、球缺人孔式、球缺开门式等结构，便于电极和沉积芯材的安装配置，更适应大批量生产的需要，还有助于电极与壳体、底板及底部油箱的密封，节省设备材料。

主权项

卧式多晶硅还原炉结构，包括炉体，所述炉体包括外筒体和置于外筒体内的内筒体，所述外筒体与内筒体之间设有夹套，所述内筒体中设置有底板，底板上设有加热电极，其特征是，包括用于炉体内原料气输运的气体输送系统和用于炉体内冷却的炉内冷却系统，所述炉体采用圆筒形结构，或者底面为平面的结构。