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发明名称 VERFAHREN ZUR ATOMSCHICHTABSCHEIDUNG
摘要
申请公布号 AT507579(T) 申请公布日期 2011.05.15
申请号 AT20030783399T 申请日期 2003.11.12
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 DOAN, TRUNG;BLALOCK, GUY;SANDHU, GURTEJ
分类号 H01L21/285;C23C16/38;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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