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发明名称 GASENTLADUNGSQUELLE, IM BESONDEREN FÜR EUV- STRAHLUNG
摘要
申请公布号 AT509506(T) 申请公布日期 2011.05.15
申请号 AT20080860964T 申请日期 2008.12.16
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 NEFF, JAKOB
分类号 H05G2/00 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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