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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von extrem ultravioletter Strahlung mittels einer elektrisch betriebenen Gasentladung
摘要
申请公布号 DE102007004440(B4) 申请公布日期 2011.05.12
申请号 DE20071004440 申请日期 2007.01.25
申请人 XTREME TECHNOLOGIES GMBH 发明人 HERGENHAN, GUIDO;ZIENER, CHRISTIAN;MOERITZ, MIKE
分类号 H05G2/00 主分类号 H05G2/00
代理机构 代理人
主权项
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