薄膜温差电材料电阻率测试系统及方法

摘要

本发明涉及薄膜温差电材料电阻率测试系统及方法。采用全新的基于双电测四探针原理测试薄膜温差电材料电阻率的薄膜温差电材料电阻率测试仪，它由测试卡具和控制及测试电路系统构成。待测薄膜温差电材料试样放置在测试卡具内，测试卡具通过探针导线与控制及测试电路系统相连。控制及测试电路系统通过探针导线向测试卡具内的四个探针中的两个给出脉冲电流信号，并采集另外二个探针间的电压响应信号，同时将脉冲电流信号和电压响应信号输入微型计算机，在微型计算机的显示屏上实时显示出所测位置处薄膜温差电材料的电阻率。大大降低了探针间距以及探针尖横向游移对电阻率测试结果的影响，即使被测试片较小使探针位于试样边界附近时也不影响测试精度。

主权项

一种薄膜温差电材料电阻率测试系统，其特征是采用双电测四探针测试薄膜温差电材料的电阻率的测试卡具和控制及测试电路系统组成；双电测四探针测试薄膜温差电材料的电阻率是：对同一待测试样的同一位置电阻率的测试过程分两次进行，第一次测量时由控制及测试电路系统先在一号探针和二号探针两探针上施加双向脉冲电流信号I12，并采集三号探针和四号探针两个探针间的电压相应信号V34；第二次测量时由控制及测试电路系统在一号探针和四号探针两探针上施加双向脉冲电流信号I14，同时采集二号探针和三号探针两个探针间的电压相应信号V23，测试时控制由控制及测试电路系统给出的脉冲电流信号I12＝I14＝I，经微型计算机内的测试软件对采集数据进行处理，在微型计算机的测试界面给出薄膜温差电材料在探针所在位置处的电阻率。