聚对苯二亚甲基或聚取代的对苯二亚甲基薄层的沉积方法和装置

摘要

本发明涉及用于沉积一层或多层聚对苯二亚甲基薄层的装置和方法，其包括用于蒸发固态或液态起始材料的加热蒸发器(1)，在所述蒸发器(1)中连接了载气用的载气供应管(11)，通过该载气供应管(11)将蒸发的起始材料、特别是蒸发的聚合物的载气运送至下游的热解室(2)，在该热解室(2)中起始材料发生分解，所述装置还包括分解室(2)下游的沉积室(8)，所述沉积室(8)包括进气口(3)、基座(4)和出气口(5)，从载气运送的分解产物、通过所述进气口(3)进入，所述基座(4)具有与进气口(3)相对的、可冷却的支撑面(4’)，所述可冷却支撑面(4’)用于支撑要用聚合物分解产物涂覆的基材(7)。由此为了可以沉积大面积的、薄的并特别是层厚均匀的聚合物层。还建议进气口(3)构成气体平面分配装置(3)，所述气体平面分配装置具有与支撑面(4’)平行延伸的出气表面(3’)，所述出气表面(3’)具有大量的在整个出气表面(3’)上分布设置的出气口(6)。

主权项

一种装置，其用于沉积一层或多层聚对苯二亚甲基薄层或聚取代的对苯二亚甲基薄层，所述装置包括用于蒸发固态或液态起始材料的加热蒸发器(1)，所述起始材料特别为聚合物、尤其为二聚物的形式，在所述蒸发器(1)中连接了载气用的载气供应管(11)，通过该载气供应管(11)将蒸发的起始材料、特别是蒸发的聚合物尤其是二聚物的载气运送至蒸发器(1)下游的可加热的分解室(2)、特别是热解室中，在该可加热的分解室(2)中起始材料发生分解，尤其是分解成单体，所述装置还包括分解室(2)下游的沉积室(8)，所述沉积室(8)包括进气口(3)、基座(4)和出气口(5)，由载气运送的分解产物、尤其是单体通过所述进气口(3)进入，所述基座(4)具有与进气口(3)相对的、可冷却的支撑面(4’)，所述可冷却的支撑面(4’)用于支撑要用聚合物分解产物、尤其是单体涂覆的基材(7)，所述载气和未聚合的分解产物特别是单体通过所述出气口(5)离开，其中所述进气口构成了气体平面分配装置(3)，所述气体平面分配装置(3)具有平行于支撑面(4’)延伸的、可加热的出气表面(3’)，所述出气表面(3’)具有大量的在整个出气表面(3’)上分布设置的出气口(6)，其特征在于，主动可加热的出气表面(3’)是高度反射性的，并且其发射率为ε＜0.04。