用于激光加工工件的自动参数管理

摘要

为了更适当地解决相关问题，自一工件(28)量测一或多个特性。此量测信息被用以自一对照表选择一较佳的预定激光加工参数配置。该激光加工参数配置从而被用以加工该工件(28)。激光加工参数配置对照表的建立可以是基于理论上的计算、操作员的错误尝试、具有后处理测试的自动化系统参数配置变异流程、或是基于前述或其它方法的组合。自动化流程也可以降低操作员的错误，且可以储存量测数值以便于工件特性的追踪。

主权项

一种利用激光微加工系统加工工件的方法，包含：取得关于该工件一或多个特性的信息；依据该特性的质量指派一量测数值予该每一特性；自一对照表选择关于该量测数值或包含该量测数值的一量测数值范围的一加工参数配置，该加工参数配置包含一或多个参数，用以加工该工件以于该工件中建立具有预定属性的一形态；以及运用包含一光束定位系统及/或一基板定位系统的一激光系统，以于该工件中建立一或多个具有预定规格的形态。