| 发明名称 |
Method of making contacts on semiconductors |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3336160(A) |
申请公布日期 |
1967.08.15 |
| 申请号 |
US19630321819 |
申请日期 |
1963.11.06 |
| 申请人 |
GENERAL MOTORS CORPORATION |
发明人 |
KATZ SEYMOUR;MILLER EDWIN J. |
| 分类号 |
C23C18/34;H01L21/00;H01L21/288 |
主分类号 |
C23C18/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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