可偏转微机械系统及其应用

摘要

本发明涉及一种可偏转微机械系统以及这种可偏转微机械系统的应用，其中能够确定至少一个可偏转元件的偏转。根据本发明，可偏转元件由至少一个弹簧元件支持并至少带有一个检测偏转的单元。所述检测单元形成为带有接触件的压阻传感器，所述接触件彼此至少间隔设置且设置在随偏转而变形的区域中。所述接触件连接到电压源。非均匀电场形成为沿深度方向与接触件表面垂直，从而能够检测到在接触件之间的根据偏转而变化的电阻以作为对位置的测量值。变形区域由导电材料或半导体材料形成。

主权项

一种可偏转微机械系统，其中可偏转元件由至少一个形成悬挂件的弹簧元件来保持，并且存在至少一个检测各个偏转的单元，其特征在于：所述单元设计成具有至少两个接触件(2、3)的压阻传感器，所述接触件(2、3)彼此间隔设置且设置在所述系统的在所述可偏转元件(1)的偏转时变形的区域中，所述接触件连接到电压源从而形成沿深度方向、垂直于所述接触件的接触表面的非均匀电场，从而能够检测到在所述接触件(2、3)之间的根据偏转而变化的电阻以作为对各个位置的测量值；和至少设置有所述接触件(2、3)的可变形区域由导电材料或半导体材料制成。