METHOD AND APPARATUS FOR TREATING A SUBSTRATE SURFACE OF A SUBSTRATE

摘要

Bei einem Verfahren zur Behandlung einer Substratoberseite eines flachen Substrats mit einer Ätzlösung, die HF enthält, werden die Substrate horizontal liegend von oben damit benetzt. Dies erfolgt derart, dass die nach oben weisende Substratoberseite nur einmal mit der Ätzlösung vollflächig benetzt bzw. bedeckt wird und diese dann dort verbleibt für die Dauer der Behandlung, wobei sie zum Abschluss entfernt wird. Das Aufbringen erfolgt vorteilhaft so, dass die Ätzlösung mit möglichst wenig Bewegung bzw. Strömung aufgebracht wird, beispielsweise mit Schwallrohren aus geringer Höhe, und dort ruhig verbleibt.