DEVICE FOR REFLECTING ACCELERATED ELECTRONS

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, mittels der von einer Elektronenquelle abgegebene beschleunigte Elektronen auf einen Oberflächenbereich eines Objektes (2) reflektierbar sind, umfassend mindestens einen dielektrischen Grundkörper (30), auf welchem zumindest in einem Oberflächenbereich (A; B) mindestens eine elektrisch leitfähige Schicht (39) aufgetragen ist, wobei sich von der elektrisch leitfähigen Schicht (39) mindestens ein elektrisch leitfähiges Kontaktierungselement (31) durch den dielektrischen Grundkörper (30) hindurch erstreckt.