Mikroskopisches Verfahren und Mikroskop mit gesteigerter Auflösung

摘要

Verfahren zur Steigerung der Auflösung eines Mikroskops bei der Detektion einer beleuchteten Probe und Mikroskop zur Durchführung des Verfahrens, wobei in einer ersten Position ein Beleuchtungsmuster auf der Probe erzeugt wird, dessen Auflösung vorzugsweise etwa in der Größenordnung der erreichbaren optischen Auflösung des Mikroskopes oder darüber liegt, wobei zwischen der Detektion und dem Beleuchtungsmuster mindestens einmal mit einer Schrittweite unterhalb der Auflösungsgrenze des Mikroskops eine Relativverschiebung, vorteilhaft senkrecht zur Beleuchtungsrichtung, von einer ersten in mindestens eine zweite Position des Beleuchtungsmusters auf der Probe erzeugt wird und sowohl in der ersten als auch in der zweiten Position eine Detektion und Abspeicherung der Detektionssignale erfolgt.