| 发明名称 | 感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种环化树脂形成时的固化时残膜率较高、高灵敏度的、具有正型光刻性能的感光性树脂组合物，使用了该感光性树脂组合物的固化浮雕图案的制造方法、以及具有该固化浮雕图案而成的半导体装置。本发明的感光性树脂组合物包含：(A)具有特定的前体结构的碱性水溶液可溶性聚合物100质量份；(B)光产酸剂1～50质量份；以及(C)在羧基的α位具有至少1个选自由羟基、醚基和酯基构成的组中的官能团的碳原子数8以上的一元羧酸化合物5～20质量份。 | ||
| 申请公布号 | CN102047179A | 申请公布日期 | 2011.05.04 |
| 申请号 | CN200980119545.1 | 申请日期 | 2009.05.25 |
| 申请人 | 旭化成电子材料株式会社 | 发明人 | 涩井智史 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;C08G69/26(2006.01)I;C08G73/10(2006.01)I;C08G73/22(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 1.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)具有选自由下述通式(1)所示的结构和下述通式(2)所示的结构构成的组中的至少1种结构的碱性水溶液可溶性聚合物100质量份，<img file="FPA00001259106000011.GIF" wi="1072" he="369" />式(1)中，X<sub>1</sub>和Y<sub>1</sub>分别独立地表示具有至少2个碳原子的2～4价的有机基团，R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>分别独立地表示氢原子或碳原子数1～10的烃基，n<sub>1</sub>、n<sub>2</sub>、n<sub>3</sub>和n<sub>4</sub>分别独立地为0～2的整数，n<sub>1</sub>+n<sub>2</sub>+n<sub>3</sub>+n<sub>4</sub>＞0，并且m<sub>1</sub>为1～1000的整数，<img file="FPA00001259106000012.GIF" wi="858" he="317" />式(2)中，X<sub>2</sub>和Y<sub>2</sub>分别独立地表示具有至少2个碳原子的4价的有机基团，并且m<sub>2</sub>为1～1000的整数；(B)光产酸剂1～50质量份；以及(C)在羧基的α位具有至少1个选自由羟基、醚基和酯基构成的组中的官能团的碳原子数8以上的一元羧酸化合物5～20质量份。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||