溅镀设备的移动式磁控装置

摘要

一种溅镀设备的移动式磁控装置，包含一个基板，以及一个安装在该基板上的磁控单元，该磁控单元包括两个间隔的第一磁件、一个位于所述第一磁件间且极性相同的第二磁件、至少一个间隔地位于第二磁件与第一磁件间但极性相反的第三磁件，以及数个连接该第一磁件及第二磁件的弧连磁件，其中该第一磁件及第三磁件之间的宽度小于第二磁件及第三磁件之间的宽度。本实用新型该磁控装置的设计不但结构新颖，还可以提高磁控装置靠近边缘位置的磁力线强度，借此改善磁控装置往复移动和在待溅镀物的边缘部位对应时间较短所产生的溅镀均匀度不佳的缺点。

主权项

一种溅镀设备的移动式磁控装置，包含：一个基板，以及一个安装在该基板上的磁控单元，该磁控单元包括两个彼此间隔的第一磁件、一个位于所述第一磁件之间且极性相同的第二磁件，以及至少一个介于第二磁件与第一磁件之间且极性相反的第三磁件；其特征在于：该磁控单元还包括数个连接在第一磁件及第二磁件之间的弧连磁件，上述第三磁件和相邻的第一磁件之间的宽度小于上述第三磁件和第二磁件之间的宽度。