发明名称 太阳能硅棒的研磨方法
摘要 本发明提供一种太阳能硅棒的研磨方法,用于对具有四个待研磨面的太阳能硅棒进行研磨,主要是提供一具有四个圆形研磨区的环形旋转台;并在所述环形旋转台的旋转方向上分别阻挡所述四个圆形研磨区,以使所述环形旋转台定向旋转时,迫使各该圆形研磨区在既定位置上形成自转;放置研磨液或研磨垫于所述环形旋转台上;将所述太阳能硅棒放置于所述圆形研磨区中,使所述待研磨面与所述研磨液或研磨垫接触,并当所述圆形研磨区自传时带动所述太阳能硅棒旋转,使其待研磨面与所述研磨液或研磨垫形成相对运动以进行研磨作业,以解决现有技术中在对硅棒进行研磨时容易划伤硅棒的问题,进而提高产品合格率和设备的运行效率。
申请公布号 CN102039554A 申请公布日期 2011.05.04
申请号 CN200910057642.4 申请日期 2009.10.12
申请人 上海日进机床有限公司 发明人 卢建伟
分类号 B24B37/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 B24B37/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种太阳能硅棒的研磨方法,用于对具有四个待研磨面的太阳能硅棒进行研磨,其特征在于:提供一环形旋转台;于所述环形旋转台上设置分别对应所述四个待研磨面的四个圆形研磨区,并在所述环形旋转台的旋转方向上分别阻挡所述四个圆形研磨区,以使所述环形旋转台定向旋转时,迫使各该圆形研磨区在既定位置上形成自转;放置研磨液或研磨垫于所述环形旋转台上;以及将所述太阳能硅棒放置于所述圆形研磨区中,使所述待研磨面与所述研磨液或研磨垫接触,并当所述圆形研磨区自传时带动所述太阳能硅棒旋转,使其待研磨面与所述研磨液或研磨垫形成相对运动以进行研磨作业。
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