| 发明名称 | 形成有类金刚石碳薄膜的材料及用于制造该材料的方法 | ||
| 摘要 | 形成有类金刚石碳薄膜的材料及用于制造该材料的方法，一种形成有DLC薄膜的材料(10)，其中中间层(14)被设置在基材(12)与DLC薄膜(16)之间。该中间层(14)是包含类金刚石碳和来自基材(12)的组分金属原子的复合层。例如，该中间层(14)可通过如下步骤形成：在等离子体层形成工艺中，将负偏压施加到基材(12)上，同时随时间降低负偏压的绝对值。碳靶或烃类气体可用作碳源。 | ||
| 申请公布号 | CN102041473A | 申请公布日期 | 2011.05.04 |
| 申请号 | CN201010533692.8 | 申请日期 | 2010.10.22 |
| 申请人 | 光田好孝;SMC株式会社 | 发明人 | 光田好孝;野濑健二;森久祐弥 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;杜娟 |
| 主权项 | 一种形成有类金刚石碳薄膜的材料(10)，其包括基材(12)和形成于基材(12)表面上的类金刚石碳薄膜(16)，在基材(12)与类金刚石碳薄膜(16)之间具有中间层(14)，其中，所述中间层(14)是包含类金刚石碳和来自所述基材(12)的组分金属原子的复合层。 | ||
| 地址 | 日本国东京都目黑区驹场4丁目6番1号东京大学生产技术研究所内 | ||