摘要 |
PROCESSO DE PRODUçãO DE UM ARTIGO REVESTIDO TRATADO TERMICAMENTE COM REVESTIMENTO DE óXIDO CONDUTOR TRANSPARENTE (TCO), PARA USO EM UM DISPOSITIVO SEMICONDUTOR. A presente invenção refere-se a um processo de produção de um artigo revestido, incluindo um filme de óxido metálico condutor, transparente (TCO), suportado por um substrato de vidro, sendo proporcionado. micialmente, um filme de óxido metálico amorfo é depositado por crepitação sobre um substrato de vidro, direta ou indiretamente. O substrato de vidro, com o filme amorfo e um filme semicondutor sobre ele, é depois tratado termicamente a altas temperaturas. O tratamento térmico faz com que o filme amorfo seja transformado em um filme de óxido condutor, transparente (TCO), cristalino. O calor usado no tratamento térmico faz com que o filme amorfo se transforme em um filme cristalino, faz com que a transmissão visível do filme aumente, e/ou faz com que o filme fique eletricamente condutor.
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