发明名称 具有在张力下非常厚平膜以提供低磁滞之电容压力计
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.05.01
申请号 TW093107501 申请日期 2004.03.19
申请人 堀场斯特克股份有限公司 发明人 罗伯特 费拉恩;丹尼尔 罗布奇;麦可 奥斯沃
分类号 G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 一种电容膜片压力计,包含:一主体结构,具有一前表面及一后表面;至少一电极,设置穿过主体结构,电极具有一前面大致与前表面平齐;一环形垫片,置于主体结构之前表面上,垫片具有一厚度;及一膜片,具有一第一表面及一第二表面,第一表面置于垫片上,并与主体结构之前表面由垫片之厚度隔开,膜片之第一表面在张力下固定于垫片,膜片之第二表面完全平滑,且为无障碍之露出之表面。如申请专利范围第1项所述之电容膜片压力计,其中,该电极包含:一前部份,包含选择具有一第一热膨胀特性之材料,第一热胀特性与垫片之热膨胀特性相似;及一后部份,包含选择具有一第二热膨胀特性之材料,第二热胀特性低于第一热膨胀特性。一种制造电容膜片压力计之方法,包含:安装一电极组件,通过自主体结构之前表面延伸至后表面之一孔;置具有一外直径之一环形垫片于主体结构之前表面上,垫片具有一厚度;置一膜片于垫片上,膜片具有一第一表面及一第二表面,第一表面与垫片接触,并由垫片之厚度与主体结构之前表面分开;加热膜片,以引起膜片膨胀;在膜片膨胀之期间中,熔接膜片之第一表面之周边于垫片,及熔接垫片于主体结构之前表面,从而拘束膜片之第一表面之周边于与垫片之外直径相当之大小;及冷却膜片,以引起膜片收缩,并由垫片施加于膜片之第一表面之周边上之拘束力预张紧。如申请专利范围第3项所述之方法,其中,由施加可移去之涂层于膜片之第二表面上,并由施加辐射能量于涂层上,加热该膜片。如申请专利范围第3项所述之方法,其中,由来自压机之压力,迫使膜片与垫片接触,且迫使垫片接触于主体结构之前表面上。如申请专利范围第5项所述之方法,其中,由具有熔化温度充分高于膜片、垫片、及主体结构之熔化温度之可再用之工具型架支持膜片于压机中,当膜片、垫片、及主体结构熔接时,工具型架不熔接于膜片。一种电容膜片压力计,包含:一主体结构,具有一前表面及一后表面,前表面具有大致平坦之中央部份,并由具有厚度垂直于中央部份之一隆起周边部份界定;至少一电极,设置穿过主体结构,电极具有一前面大致与前表面平齐;及一膜片,具有一第一表面及一第二表面,第一表面置于隆起周边部份上,并由隆起周边部份之厚度与主体结构之前表面隔开,膜片之第一表面在张力下固定于隆起之周边部份,膜片之第二表面完全平滑,且为无阻碍露出之表面。如申请专利范围第7项所述之电容膜片压力计,其中,隆起周边部份包含一环形垫片,且其中,当膜片固定于隆起周边部份上时,隆起周边部份固定于主体结构之前表面上。一种制造电容膜片压力计之方法,包含:安装一电极组件通过自主体结构之前表面延伸至后表面之一孔,主体结构之前表面具有大致平坦之中央部份,且由一隆起周边部份界定,隆起周边部份具有一厚度垂直于平坦之中央部份,并具有一外直径;置一膜片于隆起周边部份上,膜片具有一第一表面及一第二表面,第一表面与隆起周边部份接触,并由隆起周边部份之厚度与主体结构之前表面分开;加热膜片,以引起膜片膨胀;在膜片膨胀之期间中,熔接膜片之第一表面之周边于隆起周边部份,从而拘束膜片之第一表面之周边于与隆起周边部份之外周边相当之大小;及冷却膜片,以引起膜片收缩,并由隆起周边部份施加于膜片之第一表面之周边上之拘束力预张紧。如申请专利范围第9项所述之方法,其中,隆起周边部份包含一环形垫片,且其中,该方法另包含熔接隆起周边部份于主体结构之前表面上,同时熔接膜片于隆起周边部份。一种电容膜片压力计,包含:一主体结构,具有一前表面及一后表面,前表面具有大致平坦之中央部份,并由具有厚度垂直于平坦之中央部份之一隆起周边部份界定;一第一电极,设置穿过主体结构,第一电极具有一圆柱形主体,具有前面大致与前表面平齐,第一电极设置接近前表面之中心,第一电极之前面具有一大小及一形状;一第二电极,设置穿过主体结构,第二电极具有一圆柱形主体,具有前面大致与前表面平齐,第二电极设置接近前表面之周边,第二电极之前面具有一大小及一形状大致与第一电极之大小及形状相同;及一膜片,具有一第一表面及一第二表面,第一表面置于隆起周边部份上,并由隆起周边部份之厚度与主体结构之前表面隔开,膜片之第一表面在张力下固定于隆起之周边部份,膜片之第二表面完全平滑且为无阻碍露出之表面。如申请专利范围第11项所述之电容膜片压力计,其中,第一电极及第二电极各包含:一前部份,包含选择具有第一热膨胀特性之材料,第一热膨胀特性与隆起周边部份之热膨胀特性相似;及一后部份,包含选择具有第二热膨胀特性之材料,第二热膨胀特性低于第一热膨胀特性。
地址 美国