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发明名称 COMPOSANT ELECTROMECANIQUE VIBRANT A L'ECHELLE NANOMETRIQUE OU MICROMETRIQUE A NIVEAU DE DETECTION AUGMENTE
摘要
申请公布号 FR2921916(B1) 申请公布日期 2011.04.29
申请号 FR20070058173 申请日期 2007.10.09
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;STMICROELECTRONICS SA 发明人 CASSET FABRICE;DURAND CEDRIC
分类号 B81B7/02;B06B1/02 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
主权项
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