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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ULTRABARRIERE-SCHICHTSYSTEMS
摘要
申请公布号
DE502004012316(D1)
申请公布日期
2011.04.28
申请号
DE20045012316T
申请日期
2004.11.23
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
CHARTON, CHRISTOPH;FAHLAND, MATTHIAS;KRUG, MARIO;SCHILLER, NICOLAS;STRAACH, STEFFEN
分类号
C23C14/06;B05D7/24;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/35;C23C16/40
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
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