| 摘要 |
<p>【課題】金属錯体と溶媒との混合を適切且つ効率よく行うと共に、混合された金属混合液を用いて基板上に金属膜を適切且つ効率よく形成することができる金属混合液ノズルを提供する。【解決手段】基板上に金属混合液３０２を吐出する金属混合液ノズル３５０において、金属錯体３００を供給する手段に接続され、金属錯体３００を通流する金属錯体流路３５２と、溶媒３０１を供給する手段に接続され、溶媒３０１を通流する溶媒流路３５１と、金属錯体流路３５２と溶媒流路３５１とを一体にする合流路３５３と、合流路３５３に連通する吐出部３５６と、合流路３５３に形成され、金属錯体３００と溶媒３０１とを混合して金属混合液を生成する金属混合液生成部例えば合流路３５３の流路径を絞って形成される細径部３５４と、を具備する。【選択図】図３</p> |
