固态成像装置及其制造方法、电子装置和透镜阵列

摘要

本发明提供一种固态成像装置、固态成像装置的制造方法、电子装置和透镜阵列。该固态成像装置包括：多个微透镜，设置在第一方向和垂直于第一方向的第二方向的每一个上，且将入射光聚集到光接收表面；其中平面形状是包括由在第一方向上延伸的边和在第二方向上延伸的边划分的部分的形状的该多个微透镜设置为在第一方向和第二方向的每一个上彼此相邻排列；其中该多个微透镜形成为第三方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度深于第一方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度，而且在第三方向上的透镜表面的曲率高于在第一方向上的透镜表面的曲率。

主权项

一种固态成像装置，包括：多个光电转换单元，设置为排列在基板的成像面的第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向的每一个上，且构造为在光接收表面接收入射光以产生信号电荷；多个微透镜，在所述多个光电转换单元的每个光接收表面上方设置在所述第一方向和所述第二方向的每一个上，且构造为将所述入射光聚集到所述光接收表面上；以及传输单元，为所述多个光电转换单元的排列在所述第二方向上的每列所述多个光电转换单元而提供，其中构造为在所述第二方向上传输所述光电转换单元产生的信号电荷的传输通道区域形成在所述成像面上；其中所述多个微透镜设置为在所述第一方向和所述第二方向的每个上彼此相邻排列，且所述多个微透镜在所述成像面处的平面形状是包括由在所述第一方向上延伸的边和在所述第二方向上延伸的边划分的部分的形状，且；并且其中所述多个微透镜形成为使得在所述成像面的相对于所述第一方向和所述第二方向倾斜的第三方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度深于所述第一方向上排列的微透镜之间的凹槽的深度，并且所述第三方向上的透镜表面的曲率也高于所述第一方向上的透镜表面的曲率。