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发明名称 WAFER CHARGE COMPENSATION DEVICE AND ION IMPLANTATION SYSTEM EMPLOYING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1662540(A3) 申请公布日期 2011.04.27
申请号 EP20050253687 申请日期 2005.06.14
申请人 SEN CORPORATION, AN SHI AND AXCELIS COMPANY 发明人 KAWAGUCHI, HIROSHI;SANO, MAKOTO;SUGITANI, MICHIRO;MURAKAMI, JUNICHI;TSUKIHARA, MITSUKUNI;KABASAWA, MITSUAKI;KURODA, TAKASHI;UEDA, KAZUNARI;SOGABE, HIROSHI
分类号 H01J37/304;H01J37/02;H01J37/317 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
主权项
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