| 发明名称 | 适合与外涂光致抗蚀剂涂层结合使用的涂层组合物 | ||
| 摘要 | 一方面，提供了有机涂层组合物，特别是抗反射涂层组合物，其包括含有二烯/亲双烯体的反应产物。另一方面，提供了有机涂层组合物，特别是抗反射涂层组合物，其包括含有羟基-萘酸基团、例如6-羟基-2-萘酸基团的组分。本发明优选的组合物有助于减少曝光辐射时从基材反射进入其上的光致抗蚀剂涂层，和/或起到平坦化层、适形层或通孔-填充层的作用。 | ||
| 申请公布号 | CN102029753A | 申请公布日期 | 2011.04.27 |
| 申请号 | CN201010263243.6 | 申请日期 | 2010.06.12 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | J·P·阿马拉;J·F·卡梅隆;成镇旭;G·P·普罗科普维茨 |
| 分类号 | B32B27/06(2006.01)I;B44C1/22(2006.01)I;B44C3/06(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | B32B27/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 一种涂覆的基材，所述基材包括：(a)含有树脂的组合物涂层，该树脂含有二烯和亲双烯体的反应产物，并且其中该树脂含有羟基‑萘酸基团；和(b)在该组合物涂层之上的光致抗蚀剂层。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||