| 发明名称 | 腔室内衬及反应腔室 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种腔室内衬及反应腔室，包括外层内衬和里层内衬，外层内衬与里层内衬之间留有间隙，里层内衬上开有多个通孔，外层内衬上开有与反应腔室外部相通的进气口，里层内衬上开有与反应腔室外部相通的排气口。工艺气体可以通过进气口进入外层内衬与里层内衬之间的间隙，再由里层内衬上的多个通孔进入反应腔室内部，对工艺气体起到一定的缓冲作用，既能起到保护反应腔室的侧壁的作用，又能起到提高反应腔室内等离子体的均匀性的作用。 | ||
| 申请公布号 | CN101373702B | 申请公布日期 | 2011.04.27 |
| 申请号 | CN200710120745.1 | 申请日期 | 2007.08.24 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 管长乐 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/205(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/316(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I;H05H1/00(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 赵镇勇 |
| 主权项 | 一种腔室内衬，其特征在于，包括外层内衬和里层内衬，外层内衬与里层内衬之间留有间隙，所述里层内衬上开有多个通孔，所述外层内衬上开有进气口，所述进气口通过所述多个通孔与所述里层内衬的内部相通；所述里层内衬上开有排气口，所述排气口穿过所述外层内衬与外部相通。 | ||
| 地址 | 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||