| 摘要 |
La présente invention concerne un procédé de caractérisation d'une pointe (205) de microscopie à force atomique au moyen d'une structure (200) de caractérisation présentant deux flancs inclinés (202, 203) se faisant face et dont on connait au moins une distance latérale réelle (CD1, CD2, CD3) séparant lesdits deux flancs inclinés correspondant à une hauteur donnée (h1, h2, h3). Le procédé selon l'invention comporte les étapes de balayage des surfaces des flancs inclinés (202, 203) par la pointe (205), ledit balayage étant réalisé alors que la pointe (205) oscille uniquement verticalement, de mesure, pour ladite hauteur donnée, de la distance latérale séparant les deux flancs inclinés (202, 203), ladite mesure intégrant la convolution de la forme de ladite pointe (205) avec la forme de ladite structure (200) de caractérisation et de détermination d'une dimension caractéristique (D) de ladite pointe (205) en fonction de ladite distance latérale mesurée et de ladite distance latérale réelle (CD1, CD2, CD3). |
