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发明名称
Kostengünstige Substrate mit Hochwiderstands-Eigenschaften und Verfahren zum Herstellen derselben
摘要
申请公布号
DE112009001477(T5)
申请公布日期
2011.04.21
申请号
DE200911001477T
申请日期
2009.05.21
申请人
S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES
发明人
MAZURE, CARLOS;NGUYEN, BICH-YEN
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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