复合型微能源系统及其制备方法

摘要

复合型微能源系统及其制备方法，涉及一种微能源系统。提供一种可有效提高能量搜集效率，特别适用于为微系统或微器件提供“永久性”工作能源的复合型微能源系统及其制备方法。设有3片基片、2层金属层和接触开关，3片基片成三明治结构，从下至上依次为第1、第2和第3基片，在第2基片下表面加工PN结，接触开关设于第1与第2基片之间。在具有规则分布的具有三维结构(深孔阵列或柱型阵列)的PN结收集同位素辐射能的基础上，在系统中集成利用金属不同功函数将β射线产生的静电感应振动能量转换为电能，达到有效提高能量搜集效率的目的。

主权项

复合型微能源系统，其特征在于设有3片基片、振动臂、第1金属层、第2金属层和接触开关，3片基片叠积成三明治结构，从下至上依次为第1基片、第2基片和第3基片，第1基片上用于放置同位素放射源并且作为系统的底部封装；第2基片置于第1基片上方，在第2基片加工出振动质量块和振动臂，第1金属层沉积在第2基片的上表面，第1金属层是利用功函数原理将振动能量转换为电能的电容的一极，在第2基片下表面加工出三维结构的半导体PN结；第2金属层沉积在第3基片下表面，第2金属层是利用功函数原理将振动能量转换为电能的电容的另外一极；接触开关设于第1基片与第2基片之间，第1金属层和第2金属层分别外接振动能量收集电容两端，三维PN结和振动臂分别外接PN结电能收集电容两端，接触开关的一端和同位素放射源分别外接β电子电能收集电容两端。