硅基液晶面板及其制作方法

摘要

本发明披露一种硅基液晶(LCoS)面板及其制作方法，该硅基液晶(LCoS)面板包含基底，基底上设有至少一金属氧化物半导体晶体管；像素电极阵列设于基底上；多个具有至少两种不同色彩的彩色滤光片(color filter)设于像素电极阵列上，相邻的该多个彩色滤光片间均具有间隔(gap)，且至少两个彩色滤光片为非共平面；无机薄膜设于彩色滤光片上及该多个间隔内；以及有机薄膜全面性设于无机薄膜表面。通过这两层薄膜所带来的平坦化效果，本发明可提供相较已知以化学机械抛光进行平坦化步骤更低成本及更短时间的工艺，且可在节省能源(如不需经高温热工艺来沉积无机薄膜)的情况下提供光学特性更佳的LCoS面板，进而改良后续封装的良率。

主权项

一种硅基液晶面板，包含：基底，该基底上设有至少一金属氧化物半导体晶体管；像素电极阵列设于该基底上；多个具有至少两种不同色彩的彩色滤光片设于该像素电极阵列上，相邻的该多个彩色滤光片间均具有间隔，且至少两个彩色滤光片为非共平面；无机薄膜设于该多个彩色滤光片上及该多个间隔内；以及有机薄膜全面性设于该无机薄膜表面。