| 发明名称 | 双向传递片盒机构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及涂胶显影和半导体晶片加工的相关领域，具体为一种双向传递晶片片盒机构，用于在半导体晶片上获得均布光刻胶及光刻胶图形的涂胶显影设备、单片湿法处理设备等，解决现有技术中晶片在进出片盒只能作单向运动，影响整机的产能等问题。该机构设有片盒、挡片转杆、同步带轮、同步带、180°摆动气缸，片盒中对称安装四个挡片转杆，每个挡片转杆下端与同步带轮连接；其中，分别位于片盒两侧进口的两个挡片转杆为一组，每一组的两个挡片转杆通过同步带轮和同步带与180°摆动气缸连接。采用本发明晶片在片盒中双向进出，突破了涂胶显影设备传统的晶片在片盒上的取送方式，减少机器人的搬运过程和中间环节，提高效率。 | ||
| 申请公布号 | CN102024729A | 申请公布日期 | 2011.04.20 |
| 申请号 | CN201010284589.4 | 申请日期 | 2010.09.17 |
| 申请人 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 发明人 | 魏猛;郑春海 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人 | 张志伟 |
| 主权项 | 一种双向传递片盒机构，其特征在于：该机构设有片盒、挡片转杆、同步带轮、同步带、180°摆动气缸，片盒中对称安装四个挡片转杆，每个挡片转杆下端与同步带轮连接；其中，分别位于片盒两侧进口的两个挡片转杆为一组，每一组的两个挡片转杆通过同步带轮和同步带与摆动气缸连接。 | ||
| 地址 | 110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号 | ||