一种石英晶体微量天平的校准方法

摘要

本发明涉及一种石英晶体微量天平的校准方法，属于航空航天技术领域。采用磁控溅射设备，在石英晶体微量天平表面沉积重金属金；给真空系统注入惰性气体；并观察、记录真空室的真空度；监测石英晶体微量天平的频率值和温度值，并保存；然后监测椭偏仪系统的S偏振光电流和P偏振光电流，并保存，最后关闭测试系统，关闭惰性气体充气系统，关闭真空系统。本发明提高了石英晶体微量天平精确测量的灵敏度，试验过程稳定可靠，复现性好，本发明中使用椭偏仪膜厚测量仪，为石英晶体微量天平校准提供了直接的膜厚测量方法，该方法测量精度高，测试过程稳定，复现性好。

主权项

一种石英晶体微量天平的校准方法，其特征在于：1)安装石英晶体微量天平系统和椭偏仪系统，采用磁控溅射设备，将金靶置于真空室内，在石英晶体微量天平表面沉积重金属金；2)启动真空系统，使真空室工作在分子流工作状态；3)调整椭偏仪系统，调整石英晶体微量天平零点；4)通过充气系统，给真空系统注入惰性气体；5)开启磁控溅射设备，溅射金靶，并观察、记录真空室的真空度；6)监测石英晶体微量天平的各种参数，主要包括频率值和温度值，保存各种参数及各种数据记录；7)监测椭偏仪系统的各种参数，主要包括S偏振光电流和P偏振光电流，保存各种参数及各种数据记录；8)关闭测试系统，关闭惰性气体充气系统，关闭真空系统。