发明名称 |
记忆胞及其制造方法以及记忆体结构 |
摘要 |
本发明是有关于一种记忆胞及其制造方法以及记忆体结构。该记忆胞,其包括基底、绝缘层、栅极、电荷储存结构、第一源极/漏极区、第二源极/漏极区与沟道层。绝缘层配置于基底上。栅极配置于绝缘层上。电荷储存结构配置于绝缘层与栅极上。第一源极/漏极区配置于位于栅极的二侧的电荷储存结构上。第二源极/漏极区配置于位于栅极的顶部的电荷储存结构上。沟道层配置于位于栅极的侧壁上的电荷储存结构上,且与第一源极/漏极区以及第二源极/漏极区电性连接。藉由本发明的记忆胞,可以减少击穿现象的发生。 |
申请公布号 |
CN102024820A |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN200910176148.X |
申请日期 |
2009.09.22 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
黄竣祥;蔡文哲;欧天凡;程政宪 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01)I;H01L29/792(2006.01)I;H01L29/40(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种记忆胞,其特征在于其包括:一基底;一绝缘层,配置于该基底上;一栅极,配置于该绝缘层上;一电荷储存结构,配置于该绝缘层与该栅极上;一第一源极/漏极区,配置于位于该栅极的二侧的该电荷储存结构上;一第二源极/漏极区,配置于位于该栅极的顶部的该电荷储存结构上;以及一沟道层,配置于位于该栅极的侧壁上的该电荷储存结构上,且与该第一源极/漏极区以及该第二源极/漏极区电性连接。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 |