发明名称 记忆胞及其制造方法以及记忆体结构
摘要 本发明是有关于一种记忆胞及其制造方法以及记忆体结构。该记忆胞,其包括基底、绝缘层、栅极、电荷储存结构、第一源极/漏极区、第二源极/漏极区与沟道层。绝缘层配置于基底上。栅极配置于绝缘层上。电荷储存结构配置于绝缘层与栅极上。第一源极/漏极区配置于位于栅极的二侧的电荷储存结构上。第二源极/漏极区配置于位于栅极的顶部的电荷储存结构上。沟道层配置于位于栅极的侧壁上的电荷储存结构上,且与第一源极/漏极区以及第二源极/漏极区电性连接。藉由本发明的记忆胞,可以减少击穿现象的发生。
申请公布号 CN102024820A 申请公布日期 2011.04.20
申请号 CN200910176148.X 申请日期 2009.09.22
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 黄竣祥;蔡文哲;欧天凡;程政宪
分类号 H01L27/115(2006.01)I;H01L29/792(2006.01)I;H01L29/40(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I 主分类号 H01L27/115(2006.01)I
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人 寿宁;张华辉
主权项 一种记忆胞,其特征在于其包括:一基底;一绝缘层,配置于该基底上;一栅极,配置于该绝缘层上;一电荷储存结构,配置于该绝缘层与该栅极上;一第一源极/漏极区,配置于位于该栅极的二侧的该电荷储存结构上;一第二源极/漏极区,配置于位于该栅极的顶部的该电荷储存结构上;以及一沟道层,配置于位于该栅极的侧壁上的该电荷储存结构上,且与该第一源极/漏极区以及该第二源极/漏极区电性连接。
地址 中国台湾新竹科学工业园区力行路16号