磁控溅射工作箱箱体联接法兰盘

摘要

磁控溅射工作箱箱体联接法兰盘，盘体的中部开有通孔，盘体的外端面上设有依次围在通孔外侧的第一内环圈、第二内环圈，两内环圈之间形成有充填密封圈的第一环形槽，在两内环圈的外侧还依次围绕有第一外环圈、第二外环圈，两道外环圈之间形成有充填密封圈的第二环形槽，盘体上处在相邻的第二内环圈与第一外环圈之间的区域处开有一通孔。本实用新型结构合理、可靠，它可实现及时对联接处的密封性进行检查，避免设备安装完毕后发现密封问题再返工，同时也减少了设备的磕碰机会和材料的浪费，并对安装工期的保证有极大的促进作用。

主权项

磁控溅射工作箱箱体联接法兰盘，盘体的中部开有通孔，盘体的外端面上设有依次围在通孔外侧的第一内环圈、第二内环圈，两内环圈之间形成有充填密封圈的第一环形槽，其特征在于：在两内环圈的外侧还依次围绕有第一外环圈、第二外环圈，两道外环圈之间形成有充填密封圈的第二环形槽，盘体上处在相邻的第二内环圈与第一外环圈之间的区域处开有一通孔。