| 发明名称 | PECVD腔体的内连接结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种PECVD腔体的内连接结构，它包括相互连接的两个腔体以及连接螺栓和密封圈，在两个腔体的连接端分别设有一个向内翻边的内连接环，连接螺栓从两个腔体的内侧将两个内连接环连接，密封圈设置在两个腔体的连接面之间。本实用新型的PECVD腔体的内连接结构简化了设计，节约了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN201801590U | 申请公布日期 | 2011.04.20 |
| 申请号 | CN201020544282.9 | 申请日期 | 2010.09.27 |
| 申请人 | 上海太阳能科技有限公司;上海欣邦电气有限公司 | 发明人 | 唐健敏;夏世伟 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人 | 杨元焱 |
| 主权项 | 一种PECVD腔体的内连接结构，包括相互连接的两个腔体，其特征在于：还包括连接螺栓和密封圈；所述的两个腔体的连接端分别设有一个向内翻边的内连接环，连接螺栓从两个腔体的内侧将两个内连接环连接，密封圈设置在两个腔体的连接面之间。 | ||
| 地址 | 201108 上海市闵行区莘庄工业区申南路555号 | ||