发明名称 |
电路模块及其制造方法 |
摘要 |
一种电路模块及其制造方法,包括:绝缘层(1);位于绝缘层(1)内部的至少一个元件(6),其包括接触区域(7),接触区域的材料包括第一金属。导体(22)位于绝缘层(1)的表面上,其包括至少第一层(12)和第二层(32),方式是至少第二层(32)包括第二金属。电路模块包括在接触区域(7)和导体(22)之间形成电接触的接触部件,该接触部件本身包括位于接触区域(7)的材料的表面上的中间层(2),中间层包括第三金属,其中第一、第二和第三金属是不同的金属,并且中间层(2)和接触区域(7)之间的接触表面面积(ACONT1)小于接触区域(7)的表面面积(APAD)。 |
申请公布号 |
CN102027585A |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN200980117248.3 |
申请日期 |
2009.05.11 |
申请人 |
伊姆贝拉电子有限公司 |
发明人 |
P·帕姆;R·图奥米宁;A·伊赫拉 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I;H01L23/538(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 |
代理人 |
王勇 |
主权项 |
一种用来制造电路模块的方法,该方法包括:采用导体薄片(12),在导体薄片(12)中制造接触开口(8),用来制造接触部件,采用包括接触区域(7)的元件(6),接触区域的材料包括第一金属,通过聚合体层(25)将元件(6)接附到导体薄片(12),制造围绕接附到导体薄片(12)的元件(6)的绝缘层(1),以每个接触孔(18,28)和对应接触区域(7)之间的接触表面面积(ACONT1)小于接触区域(7)的表面面积(APAD)的方式,在接触区域(7)的位置处的聚合体层(25)中制造接触孔(18,28),并且至少在接触孔(18、28)中的接触区域(7)的表面上生长中间层(2),中间层(2)包括至少第三金属,并且生长第二金属的层(32),该层(32)和中间层(2)的表面相接触,并且沿着制成的导体(22)延伸,并且通过图案化导体薄片(12)形成导体(22),并且如果需要还图案化导体薄片(12)表面上的中间层(2)和/或第二金属的层(32)。 |
地址 |
芬兰埃斯波 |