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发明名称 ANTENNA FOR PRODUCING UNIFORM PROCESS RATES
摘要
申请公布号 EP1632006(B1) 申请公布日期 2011.04.20
申请号 EP20040710690 申请日期 2004.02.12
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 WILCOXSON, MARK, H.;BAILEY, ANDREW, D., III
分类号 H01Q7/00;H01J7/24;H01J37/32;H01Q1/36 主分类号 H01Q7/00
代理机构 代理人
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