| 发明名称 | 一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置与方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器、平面镜、凸透镜，真空室、靶材、水冷管，还包括连动装置，工件架，导轨，其中导轨与真空室壁连接，工件架设有可沿导轨运动的滚轮，工件架一端与连动装置相连接，通过连动装置可以带动工件架在导轨上运动。本发明还涉及一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的方法。使用本发明所述装置和方法可以实现脉冲激光内腔镀膜，且能实现多种薄膜沉积。 | ||
| 申请公布号 | CN102021518A | 申请公布日期 | 2011.04.20 |
| 申请号 | CN201010523120.1 | 申请日期 | 2010.10.26 |
| 申请人 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 | 发明人 | 赵栋才;肖更竭;马占吉;武生虎;任妮 |
| 分类号 | C23C14/28(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人 | 张利萍;郭德忠 |
| 主权项 | 一种使用脉冲激光法在内腔表面镀膜的装置，包括激光器(14)、平面镜(1)、凸透镜(2)，真空室(4)、靶材(7)、水冷管(8)，其特征在于，还包括连动装置(11)，工件架(12)，导轨(13)，其中导轨(13)与真空室(4)壁连接，工件架(12)设有可沿导轨(13)运动的滚轮，工件架(12)一端与连动装置(11)相连接，通过连动装置(11)可以带动工件架(12)在导轨(13)上运动。 | ||
| 地址 | 730000 甘肃省兰州市城关区渭源路97号 | ||