发明名称 |
一种超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统 |
摘要 |
本发明涉及一种超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统,该光学系统包括第一负透镜、第二负透镜、第一正透镜、光阑、第二正透镜以及第三负透镜,第一负透镜、第二负透镜、第一正透镜、光阑、第二正透镜以及第三负透镜依次设置于同一光路上;本发明提供了一种适应范围广、近半球视场、有利于系统像差的校正、具有较低的f-θ畸变和较均匀的像面照度、可有效降低静电吸附灰尘以及无渐晕的超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统。 |
申请公布号 |
CN102023368A |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN200910023942.0 |
申请日期 |
2009.09.17 |
申请人 |
中国科学院西安光学精密机械研究所 |
发明人 |
王虎;张向辉;刘杰;解永杰;苗兴华;丰善;汶德胜;王锋 |
分类号 |
G02B13/00(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I |
主分类号 |
G02B13/00(2006.01)I |
代理机构 |
西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人 |
商宇科 |
主权项 |
一种超低畸变近半球视场防静电吸附光学系统,其特征在于:所述光学系统包括第一负透镜、第二负透镜、第一正透镜、光阑、第二正透镜以及第三负透镜,所述第一负透镜、第二负透镜、第一正透镜、光阑、第二正透镜以及第三负透镜依次设置于同一光路上。 |
地址 |
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号 |