单晶炉的导流筒

摘要

本实用新型单晶炉的导流筒，属于单晶炉技术领域；提供一种可以有效控制晶体固液界面结晶潜热的挥发，从而有效保持固液界面的平坦性，从而提高单晶硅棒的含氧量、电阻率以及原生缺陷的均匀性的导流筒；采用的技术方案是：单晶炉的导流筒，导流筒的整体结构为一个逐渐减小直径的筒状结构，在导流筒最小直径处设置有向内弯曲的挡板，挡板与水平面的夹角范围为-20°～20°，导流筒最小直径处的壁厚大于最大直径处的壁厚；本实用新型应用在单晶炉拉制单晶硅棒的生产过程中。

主权项

单晶炉的导流筒，导流筒(1)的整体结构为一个逐渐减小直径的筒状结构，其特征在于：在导流筒(1)最小直径处设置有向内弯曲的挡板(2)。